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打造半导体产业“中国芯”——记2022年“最美科技工作者”黑龙江省候选人赵丽丽
2022-09-18 浏览次数:2048

国外的一次学术交流让赵丽丽印象非常深刻,“那次交流中,对方因为我是中国人,就认为我一定没有什么好成果。”这激发了赵丽丽的斗志,特别是后来她在瑞士和挪威工作的企业都是半导体和新能源前三的龙头企业,也看到了国内外技术的差距。她暗下决心:“要将核心技术掌握在中国人自己手里。”

“学校将组建一个新能源化工系,有兴趣回母校任教吗?”2013年,哈尔滨工业大学出台了“百人计划”人才引进政策,学校向她发出了邀请,于是她毅然放弃了美国的高薪工作,回到母校后在化工学院任教授。

赵丽丽在研究中

回到哈工大任教后,她一边勤勤恳恳地投身科研,一边兢兢业业地教书育人,她将在国外十年深厚的专业知识及丰富的实践研究经验和外企管理经验,与哈工大的科研平台资源结合起来,通过科技成果转化,为半导体、光伏、新能源行业的企业解决生产中遇到的关键技术问题,提高国内企业的核心竞争力。

为了摆脱国内高端芯片主要依赖进口、第三代半导体材料被国外垄断等问题,她全力以赴带领研发团队突破技术壁垒,自主研发制造了氮化铝成套设备,并获得全省首台套认定。

从建立实验室到完成规模化生产,她仅用五年时间。投入超过500片6英寸的碳化硅晶圆,每一片都至少承载了一个单项实验,整个过程是非常复杂和具有挑战性的,只要有一点点瑕疵就会前功尽弃。在自主研发的6英寸生产线上,她对200多道工序一步步地进行调整,最终实现了自主留片、制造加工,技术成果达到国内领先地位。

赵丽丽在工作中

2018年,赵丽丽创办了哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司。2020年,在她的带领下,第三代半导体产学研聚集区项目正式启动。此外,她借助多年国际合作的优势,建成中俄第三代半导体研究院,承载着新型研发机构、高端装备制造中心、国际孵化基地等多个项目。

赵丽丽的科研成果实现了重大经济社会效益。她针对新疆某企业的晶体生产过程进行工艺优化,实现了沉积速率提高30%,能耗降低15%,每年节约电量可达3000万度以上。

从成绩优异的学霸到教书育人的辛勤园丁、再到勇闯商界的成功企业家,赵丽丽用自己的方式诠释着科技工作者的角色,坚守初心走在科技报国的路上。

近两年,第三代半导体产学研聚集区项目正处于建设的关键时期,赵丽丽带领项目团队在疫情防控常态化形势下,攻坚克难保研发保生产,全力以赴投身到工作中去,展现新时代女性科技工作者的责任与担当。作为行业的开拓者,她以制造“中国芯”为己任,希望可以让更多核心技术掌握在自己手里,让国家拥有一颗强大的“中国芯”。这是她的梦想,也是新一代科技工作者共同的中国梦。

个人简介:赵丽丽,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司董事长、哈尔滨工业大学化工与化学学院教授,曾于挪威麦拓卡夫特研发部担任资深研究员、美国可再生能源公司担任中国区总经理兼技术总监;主持和参与国家自然科学基金、国家和省市重大专项等科研项目近10项,曾获黑龙江省科技进步一等奖、黑龙江省巾帼建功标兵、黑龙江省十大杰出青年创业奖。